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Cr2O3氧化鉻陶瓷涂層

更新:2020-3-25 11:34:31點擊:
  • 產品品牌抗耐牌
  • 產品型號Cr2O3
產品介紹

在所有礦物和氧化物中,Cr2O3 是硬度較高的材料之一.它具有極好的化學穩定性、抗高溫性能、摩擦系數小等特點,可作為微電子器件的阻擋層和磨損器件的Cr2O3氧化鉻陶瓷涂層,以前研究結果表明,Cr2O3氧化鉻陶瓷涂層薄膜耐磨性能好、摩擦系數低4,但硬度低于Cr2O3塊體.

Cr2O3氧化鉻陶瓷涂層

最近幾年,  Bhushan等利用濺射法制備200 nm厚的缺氧Cr2O3薄膜,其硬度值最高為29.5 GPa. Phones等利用濺射法制備出2μm左右厚的Cr2O3薄膜,其硬度值最高達到32GPa.但是,所得薄膜多呈非晶結構,熱處理后,部分Cr2O3膜晶化.

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